高フルエンスEUV光による材料表面改質

• 田中 のぞみ

• 安田 清和

• 出口 亮

• 和田 直

• 余語 覚文

• 西 博明

書誌事項

タイトル別名

• コウフルエンス E UVコウ ニ ヨル ザイリョウ ヒョウメン カイシツ
• Modification of surface morphology by high-fluence extreme ultraviolet light
• 短波長量子ビーム発生と応用
• タンハチョウ リョウシ ビーム ハッセイ ト オウヨウ

収録刊行物

• レーザー学会研究会報告 = Reports the on topical meeting of the Laser Society of Japan

  レーザー学会研究会報告 = Reports the on topical meeting of the Laser Society of Japan RTM16 (70-74), 1-5, 2016-12

  [吹田] : レーザー学会研究委員会

キーワード

• Extreme ultraviolet
• Surface modification
• interfacial structure

詳細情報

• CRID: 1520009410050052864
• NII論文ID: 40021056735
• NII書誌ID: AA11604414
• NDL書誌ID: 027836787
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/027836787
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027836787
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles