固相発泡により扁平気孔を導入した高温圧力センサーの特性向上

DOI Web Site Web Site 参考文献11件
  • 高室 佑基
    岡山大学大学院自然科学研究科物質生命工学専攻
  • 寺西 貴志
    岡山大学大学院自然科学研究科物質生命工学専攻
  • 林 秀考
    岡山大学大学院自然科学研究科物質生命工学専攻
  • 岸本 昭
    岡山大学大学院自然科学研究科物質生命工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Performance Improvement of a High-temperature Stress Sensor Incorporated with Flat Pores through a Solid State Foaming Method
  • コソウ ハッポウ ニ ヨリ ヘンペイ キコウ オ ドウニュウ シタ コウオン アツリョク センサー ノ トクセイ コウジョウ

この論文をさがす

抄録

ABSTRACT<BR><BR><p>Aiming for an application to the high temperature pressure sensor, semiconductive ceramics foam incorporated with a narrow slit has been fabricated by our innovated superplastically foaming method. We investigated the pressure dependence of resistance on the zinc oxide based foaming body, by changing the fabrication process and composition. The resistance of the sample decreased with an increase in pressure both at room and high temperatures. The performances of this type of sensor such as sensitivity and linearity have been improved by doping ambivalent atoms (Ag and Li) into the matrix.</p>

収録刊行物

参考文献 (11)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ