書誌事項
- タイトル別名
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- Preparation of perpendicular MTJ structure using half metallic full Heusler alloy Co2FeS films
- ハーフメタル ・ フルホイスラー ゴウキン Co ₂ FeSi オ モチイタ スイチョク ジカガタ MTJ コウゾウ ノ サクセイ
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抄録
強磁性トンネル接合素子(MTJ)に応用可能なスピン分極率が 100%のハーフメタル強磁性体として期待されている Co基フルホイスラー合金Co2FeSi(CFS)薄膜に対して,垂直磁気異方性を発現させるための膜構造と作製条件について実験的に考察した.CFS薄膜上に MgOを積層した構造において,CFSの膜厚を 0.7 nm以下にすることでCFS/MgOの界面異方性を起源とするに垂直磁気異方性を付与させることに成功した.一方,下地層として用いたPdとの格子ミスマッチによる垂直方向の格子伸張は垂直磁気異方性発現に有効であること,また上部層においては (111)配向した Pdとの界面異方性が垂直磁気異方性に寄与していることを見出した.これらの条件を最適化することにより, CFS/MgO/CFSのMTJ構造中のCFS層をすべて垂直磁化膜化させることに成功した.
収録刊行物
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- 映像情報メディア学会技術報告
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映像情報メディア学会技術報告 41.17 (0), 35-40, 2017
一般社団法人 映像情報メディア学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390851717621408768
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- NII論文ID
- 130008066674
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- NII書誌ID
- AN1059086X
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- ISSN
- 24241970
- 13426893
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- NDL書誌ID
- 028369414
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可