マイクロ・ナノバブル水の工学分野への応用

• 白井 泰雪

  東北大学未来科学技術共同研究センター

書誌事項

タイトル別名

• Engineering Field Application of Micro-Nano-Bubble Water
• マイクロ ・ ナノバブルスイ ノ コウガク ブンヤ エ ノ オウヨウ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 83 (7), 623-626, 2017

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• micro-nano-bubble
• evaluation
• semiconductor
• photoresist removal
• ozone

詳細情報

• CRID: 1390001204829617280
• NII論文ID: 130006855950
• NII論文ID: 40021262706
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.83.623
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 028379542
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I028379542
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/83/7/83_623/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles