極微小面積式流量計 : 数mL/minを計測、微調整制御を可能とするメカニカル製品

• 山本 明

書誌事項

タイトル別名

• ゴク ビショウ メンセキシキ リュウリョウケイ : スウ mL/min オ ケイソク 、 ビチョウセイ セイギョ オ カノウ ト スル メカニカル セイヒン
• High grade Flowmeter with Precision Needle Valve
• 特集 半導体プロセスにおける最近の液体極微小流量計測
• トクシュウ ハンドウタイ プロセス ニ オケル サイキン ノ エキタイキョク ビショウ リュウリョウ ケイソク

収録刊行物

• 計測技術 / 計測技術編集委員会 編

  計測技術 / 計測技術編集委員会 編 45 (13), 6-10, 2017-12

  東京 : 日本工業出版

詳細情報

• CRID: 1522543653402281856
• NII論文ID: 40021390384
• NII書誌ID: AN00072370
• ISSN: 03859886
• NDL書誌ID: 028673228
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I028673228
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM15(科学技術--科学技術一般--測定・測定器)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles