書誌事項
- タイトル別名
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- Development of a System for 3-D Micro Metrology Using an Ultra-Small Diameter Optical Fiber Probe
- キョクショウケイ ヒカリ ファイバプローブ オ モチイタ ビサイ サンジゲン ケイジョウ セイド ソクテイ システム ノ カイハツ
- 光学系の改良
- Improvement of an optical system
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抄録
微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，極小径の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，測定領域の拡大を目的とした光学系の改良について述べる．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 269-270, 2017
公益社団法人 精密工学会
