真空紫外光による合成樹脂の微細パターニング法の研究

• 土井 智尭

• 橋本 優生

• 山本 貴富喜

書誌事項

タイトル別名

• シンクウ シガイコウ ニ ヨル ゴウセイ ジュシ ノ ビサイ パターニングホウ ノ ケンキュウ
• Study of fine patterning method for synthetic resin by using vacuum ultraviolet

収録刊行物

• 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1-5, 2017

  [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan

キーワード

• マイクロフルイディクス
• エッチング
• フォトリソグラフィ
• 合成樹脂
• 真空紫外光
• Microfluidics
• Etching
• Photolithography
• Synthetic-Resin
• Vacuum-Ultraviolet

詳細情報

• CRID: 1520009408110792064
• NII論文ID: 40021395717
• NDL書誌ID: 028687711
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I028687711
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles