マイクロ波・ミリ波帯移相器の開発に向けた強誘電体膜材料の検討 : 成膜条件の最適化

書誌事項

タイトル別名
  • マイクロハ ・ ミリ ハタイ イソウキ ノ カイハツ ニ ムケタ キョウ ユウデンタイマク ザイリョウ ノ ケントウ : セイマク ジョウケン ノ サイテキカ
  • Study of Ferroelectric Films for the Development of Phase Shifter in Microwave and Millimeter Wave Band : The Optimization of Deposition Conditions
  • マイクロ波
  • マイクロハ

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