スパッタ法AlN基板へのMOVPE法によるホモ成長

• 吉澤 涼

• 林 侑介

• 三宅 秀人

• 平松 和政

書誌事項

タイトル別名

• スパッタホウ AlN キバン エ ノ MOVPEホウ ニ ヨル ホモ セイチョウ
• Homoepitaxial growth on sputtered AlN templates by MOVPE
• 電子部品・材料
• デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 117 (332), 83-86, 2017

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• AlN
• サファイア
• スパッタ
• MOVPE
• アニール
• Sapphire
• Sputtering
• Annealing

詳細情報

• CRID: 1520009408353539584
• NII論文ID: 40021401755
• NII論文ID: 40021402162
• NII論文ID: 40021402688
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 028700374
• NDL書誌ID: 028699837
• NDL書誌ID: 028702606
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I028700374
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I028699837
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I028702606
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles