Face to Face法アニールによるAlN極性反転構造の作製と疑似位相整合SHGへの応用

• 林 侑介

• 三宅 秀人

• 平松 和政

• 秋山 亨

• 伊藤 智徳

• 片山 竜二

書誌事項

タイトル別名

• Face to Faceホウ アニール ニ ヨル AlN キョクセイ ハンテン コウゾウ ノ サクセイ ト ギジ イソウ セイゴウ SHG エ ノ オウヨウ
• Fabrication of Polarity-inverted AlN by Face-to-Face Annealing and Application for QPM-SHG
• 電子部品・材料
• デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 117 (332), 87-90, 2017

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• AlN
• Face to Faceアニール
• 極性反転
• SHG
• ウェハ接合
• Face to face annealing
• polarity inversion
• wafer bonding

詳細情報

• CRID: 1520290882828783744
• NII論文ID: 40021401767
• NII論文ID: 40021402698
• NII論文ID: 40021402179
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 028700393
• NDL書誌ID: 028702628
• NDL書誌ID: 028699851
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I028700393
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I028702628
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I028699851
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles