光コムを用いた分光エリプソメトリー法

• 南川 丈夫

• 大久保 章

• 稲場 肇

• 岩田 哲郎

• 安井 武史

書誌事項

タイトル別名

• ヒカリ コム オ モチイタ ブンコウ エリプソメトリーホウ

収録刊行物

• 光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編

  光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編 29 (5), 53-58, 2018-05

  東京 : 日本工業出版

詳細情報

• CRID: 1521136280613856512
• NII論文ID: 40021561341
• NII書誌ID: AA11758790
• ISSN: 0917026X
• NDL書誌ID: 029022578
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029022578
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN