r面サファイア上a面AlNスパッタ膜の高品質化と特性評価

• 福田 涼

• 正直 花奈子

• 蒋 楠

• 上杉 謙次郎

• 林 侑介

• 肖 世玉

• 三宅 秀人

書誌事項

タイトル別名

• rメン サファイア ジョウ aメン AlN スパッタマク ノ コウヒンシツカ ト トクセイ ヒョウカ
• Quality improvement and characteristic evaluations of sputter-deposited a-plane AlN on r-plane sapphire
• 電子部品・材料
• デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118 (331), 83-86, 2018-11

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• サファイア
• AlN
• スパッタ
• アニール
• HVPE
• Sapphire
• Sputtering
• Annealing

詳細情報

• CRID: 1520009408787375616
• NII論文ID: 40021747554
• NII論文ID: 40021747275
• NII論文ID: 40021747438
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 029386339
• NDL書誌ID: 029386158
• NDL書誌ID: 029386467
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029386339
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029386158
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029386467
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles