ZnMgO薄膜のミストCVDにおける原料の比較

• 渡井 大貴

• 大城 巨暉

• 小野田 翔悟

• 楠原 穂高

• 小南 裕子

• 原 和彦

書誌事項

タイトル別名

• ZnMgO ハクマク ノ ミスト CVD ニ オケル ゲンリョウ ノ ヒカク
• Comparison of source materials in mist CVD of ZnMgO thin films
• 情報ディスプレイ
• ジョウホウ ディスプレイ

収録刊行物

• 映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report

  映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report 43 (1), 65-68, 2019-01

  東京 : 映像情報メディア学会

キーワード

• ミストCVD
• ZnMgO
• 薄膜成長
• mist CVD
• thin films growth

詳細情報

• CRID: 1520009407663911808
• NII論文ID: 40021817166
• NII論文ID: 40021797782
• NII論文ID: 40021801103
• NII書誌ID: AN1059086X
• ISSN: 13426893
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 029529274
• NDL書誌ID: 029495215
• NDL書誌ID: 029501452
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029529274
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029495215
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029501452
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles