顕微分光膜厚計におけるDLC膜の計測評価技術

• 岡本 宗大

書誌事項

タイトル別名

• ケンビブンコウ マクアツケイ ニ オケル DLCマク ノ ケイソク ヒョウカ ギジュツ
• キーテク特集 表面観察
• キーテク トクシュウ ヒョウメン カンサツ

収録刊行物

• Mechanical surface tech = メカニカル・サーフェス・テック : 表面改質&表面試験・評価の技術情報誌

  Mechanical surface tech = メカニカル・サーフェス・テック : 表面改質&表面試験・評価の技術情報誌 (48), 34-36, 2019-02

  東京 : メカニカル・テック社

詳細情報

• CRID: 1523388080943059456
• NII論文ID: 40021824403
• ISSN: 27581608
• NDL書誌ID: 029541954
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/029541954
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029541954
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles