貼り合わせSi-on-Quartz基板上にエピタキシャル成長したGe層における格子ひずみと光学物性の評価

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  • ハリアワセ Si-on-Quartz キバン ジョウ ニ エピタキシャル セイチョウ シタ Geソウ ニ オケル コウシヒズミ ト コウガク ブッセイ ノ ヒョウカ
  • Characterizations of lattice strain and optical properties for Ge layers epitaxially grown on bonded Si-on-quartz substrate
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

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