吹き出し形プラズマCVDによるグラフェン膜の低温合成

• 金 載浩

• 榊田 創

• 板垣 宏知

Bibliographic Information

Other Title

• フキダシ ケイ プラズマ CVD ニ ヨル グラフェンマク ノ テイオン ゴウセイ
• Low-temperature synthesis of graphene film using blowing-type plasma CVD
• 放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー技術一般
• ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー ケンキュウカイ ・ ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー ギジュツ イッパン

Journal

• 電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編]

  電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2019 (33・35-37・39・40), 15-18, 2019-05-15

  東京 : 電気学会

Keywords

• プラズマCVD
• マイクロ波プラズマ
• 吹き出し形プラズマ
• グラフェン
• カーボンナノ材料
• plasma CVD
• microwave plasma
• blowing-type plasma
• graphene
• carbon nanomaterial

Details

• CRID: 1520853834911716736
• NII Article ID: 40021934180
• NDL BIB ID: 029773127
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029773127
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles