Comparison study of plasma synthesis methods for TCO films manufacturing

• Tihomir Cuzovic

• Naoyuki Sato

• Takashi Ikehata

書誌事項

タイトル別名

• 透明酸化物生産に関するプラズマ合成法の比較研究
• トウメイ サンカブツ セイサン ニ カンスル プラズマ ゴウセイホウ ノ ヒカク ケンキュウ
• 放電・プラズマ・パルスパワー 静止器 開閉保護合同研究会・アークプラズマ・電気接点とその応用
• ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー セイシキ カイヘイ ホゴ ゴウドウ ケンキュウカイ ・ アークプラズマ ・ デンキ セッテン ト ソノ オウヨウ

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. SP = The papers of technical meeting on switching and protecting engineering, IEE Japan / 開閉保護研究会 [編]

  電気学会研究会資料. SP = The papers of technical meeting on switching and protecting engineering, IEE Japan / 開閉保護研究会 [編] 2019 (1-23), 89-93, 2019-07

  東京 : 電気学会

キーワード

• TCO
• ion-plating
• arc plasma
• sputtering
• ZnO
• AZO
• GZO
• ITO

詳細情報

• CRID: 1520009409990762752
• NII論文ID: 40021984063
• NII書誌ID: AN10462327
• NDL書誌ID: 029919160
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029919160
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZN32(科学技術--電気工学・電気機械工業--電力)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles