高速ビデオカメラを用いたマグネトロンスパッタリングプラズマの揺動現象の観察 (シリコン材料・デバイス)  [in Japanese] Observation of Fluctuation of Magnetron Sputtering Plasmas Using High-speed Video Camera  [in Japanese]

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  • 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119(239), 69-72, 2019-10-23

    電子情報通信学会

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    40022064652
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10013254
  • Text Lang
    JPN
  • ISSN
    0913-5685
  • NDL Article ID
    030074219
  • NDL Call No.
    Z16-940
  • Data Source
    NDL 
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