高速ビデオカメラを用いたマグネトロンスパッタリングプラズマの揺動現象の観察

• 山崎 森太郎

• 後藤 哲也

• 鈴木 学

• 黒田 理人

• 須川 成利

書誌事項

タイトル別名

• コウソク ビデオカメラ オ モチイタ マグネトロンスパッタリングプラズマ ノ ヨウドウ ゲンショウ ノ カンサツ
• Observation of Fluctuation of Magnetron Sputtering Plasmas Using High-speed Video Camera
• シリコン材料・デバイス
• シリコン ザイリョウ ・ デバイス

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119 (239), 69-72, 2019-10

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• Spokes
• DCマグネトロンスパッタリング
• 高速ビデオカメラ
• プラズマ
• DC magnetron sputtering
• high-speed video camera
• plasma

詳細情報

• CRID: 1520572358412619264
• NII論文ID: 40022064652
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 030074219
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030074219
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles