機械学習によるプラズマエッチング率予測 (小特集 プラズマ・インフォマティクス : データ駆動科学のプラズマへの応用)  [in Japanese] Prediction of Plasma Etching Yields by Machine Learning  [in Japanese]

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  • プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research

    プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research 95(11), 542-547, 2019-11

    プラズマ・核融合学会編集委員会

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    40022072993
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10401672
  • Text Lang
    JPN
  • ISSN
    0918-7928
  • NDL Article ID
    030089367
  • NDL Call No.
    Z15-8
  • Data Source
    NDL 
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