DCスパッタAlNテンプレートを用いたUVC-LEDの進展

• 最上 耀介

• 大澤 篤史

• 尾崎 一人

• 谷岡 千丈

• 前岡 淳史

• 糸数 雄吏

• 桑葉 俊輔

• 定 昌史

• 前田 哲利

• 矢口 裕之

• 平山 秀樹

書誌事項

タイトル別名

• DC スパッタ AlN テンプレート オ モチイタ UVC-LED ノ シンテン
• Progress of UVC-LEDs using DC sputter AlN templates
• 電子部品・材料
• デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119 (303), 85-88, 2019-11

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• UVCLED
• AlN
• スパッタ
• MOCVD
• Sputter

詳細情報

• CRID: 1520009407027003008
• NII論文ID: 40022095362
• NII論文ID: 40022094420
• NII論文ID: 40022094921
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 030130115
• NDL書誌ID: 030129531
• NDL書誌ID: 030133487
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030130115
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030129531
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030133487
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles