パルス大電力ペニング放電の電気的特性

• 阿部 星輝

• 高橋 克幸

• 向川 政治

• 高木 浩一

• 行村 建

書誌事項

タイトル別名

• パルス ダイ デンリョク ペニング ホウデン ノ デンキテキ トクセイ
• Electrical Characteristics of High-Power Pulsed Sputtering Penning Discharge
• 誘電・絶縁材料 放電・プラズマ・パルスパワー 高電圧合同研究会 放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧/誘電・絶縁材料
• ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー コウデンアツ ゴウドウ ケンキュウカイ ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー/コウデンアツ/ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. HV = The papers of technical meeting on high voltage engineering, IEE Japan / 高電圧研究会 [編]

  電気学会研究会資料. HV = The papers of technical meeting on high voltage engineering, IEE Japan / 高電圧研究会 [編] 2020 (37-47・49-50), 63-68, 2020-01-24

  東京 : 電気学会

キーワード

• ペニング放電
• ホローカソード放電
• HiPIMS
• マグネトロンスパッタ
• グロー放電
• イオンシース
• Penning Discharge
• Hollow-Cathode Discharge
• Magnetron Sputtering
• Glow Discharge
• Ion Sheath

詳細情報

• CRID: 1520009409987276544
• NII論文ID: 40022152070
• NII論文ID: 40022152210
• NII論文ID: 40022152257
• NDL書誌ID: 030244795
• NDL書誌ID: 030244711
• NDL書誌ID: 030244469
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030244795
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030244711
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030244469
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles