フラッシュランプアニーリング処理が銅皮膜の電気伝導性に及ぼす影響

• 石井 智之

• 盧 柱亨

• 本間 英夫

• 渡邊 充広

書誌事項

タイトル別名

• フラッシュランプアニーリング ショリ ガ ドウ ヒマク ノ デンキ デンドウセイ ニ オヨボス エイキョウ
• Effect of Flash Lamp Annealing Treatment on Electrical Conductivity of Copper Film

収録刊行物

• 材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌

  材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌 57 (3), 98-105, 2020

  東京 : 日本材料科学会 ; 2002-

キーワード

• Flash Lamp Annealing
• Copper Film
• Conductivity
• Sputter
• Electroless Plating

詳細情報

• CRID: 1520290884148197120
• NII論文ID: 40022289557
• NII書誌ID: AA11602237
• ISSN: 13474774
• NDL書誌ID: 030527257
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/030527257
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030527257
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN