自由電子レーザによる回折限界を超えた微細加工 : LIPSSの新たな可能性

• 入澤 明典

書誌事項

タイトル別名

• ジユウ デンシ レーザ ニ ヨル カイセツ ゲンカイ オ コエタ ビサイ カコウ : LIPSS ノ アラタ ナ カノウセイ
• Microfabrication Beyond The Diffraction Limit by A Free Electron Laser : New Possibilities of LIPSS

収録刊行物

• レーザ加工学会誌 = Journal of Japan Laser Processing Society

  レーザ加工学会誌 = Journal of Japan Laser Processing Society 27 (3), 155-158, 2020-10

  吹田 : レーザ加工学会

キーワード

• LIPSS
• FEL
• THz
• Infrared

詳細情報

• CRID: 1520853833787976448
• NII論文ID: 40022393960
• NII書誌ID: AA11758611
• ISSN: 18816797
• NDL書誌ID: 030719918
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030719918
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles