表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と絶縁性評価

• 泥谷 亮太

• 伊藤 隆太

• 山本 世翔

• 神村 勇馬

• 堤井 君元

• 松本 精一郎

書誌事項

タイトル別名

• ヒョウメンハ プラズマ CVD オ モチイタ チッカ ホウソマク ノ ゴウセイ ト ゼツエンセイ ヒョウカ
• Synthesis of Boron Nitride Films by Surface-Wave Plasma-Enhanced CVD and Characterization of Their Insulation Properties
• 誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会・放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧/誘電・絶縁材料
• ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ/ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー/コウデンアツ ゴウドウ ケンキュウカイ ・ ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー/コウデンアツ/ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. DEI

  電気学会研究会資料. DEI 2021 (1-18), 89-92, 2021-01-22

  東京 : 電気学会

キーワード

• プラズマCVD
• 窒化ホウ素
• 薄膜
• 誘電体
• 電気特性
• plasma CVD
• boron nitride
• thin film
• dielectric
• electrical property

詳細情報

• CRID: 1520572359939212288
• NII論文ID: 40022482528
• NII論文ID: 40022485341
• NII論文ID: 40022482288
• NDL書誌ID: 031282793
• NDL書誌ID: 031283718
• NDL書誌ID: 031283377
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I031282793
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I031283718
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I031283377
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles