Preparation Techniques to Utilize the Latest Scanning Electron Microscope

• ASANO Natsuko

  JEOL Ltd.

• LU Jinfeng

  JEOL Ltd.

• OMOTO Tamae

  JEOL Ltd.

• ASAHINA Shunsuke

  JEOL Ltd.

Bibliographic Information

Other Title

• 最新の走査電子顕微鏡とそれを生かす前処理技術
• サイシン ノ ソウサ デンシ ケンビキョウ ト ソレ オ イカス マエショリ ギジュツ

Journal

• Journal of The Surface Finishing Society of Japan

  Journal of The Surface Finishing Society of Japan 72 (3), 133-137, 2021-03-01

  The Surface Finishing Society of Japan

Keywords

• Scanning Electron Microscopy
• Solder Bump
• Au Plating
• Ar Ion Milling
• Plasma Cleaning

Details

• CRID: 1390570707167936256
• NII Article ID: 130008081891
• NII Book ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.72.133
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL BIB ID: 031336193
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I031336193
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/72/3/72_133/_pdf
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles