選択成長法を用いたGaN系FinFET

書誌事項

タイトル別名
  • センタク セイチョウホウ オ モチイタ GaNケイ FinFET
  • GaN FinFETs fabricated by using selective area growth
  • 電子デバイス研究会 高機能化合物半導体エレクトロニクス技術と将来システムへの応用
  • デンシ デバイス ケンキュウカイ コウキノウ カゴウブツ ハンドウタイ エレクトロニクス ギジュツ ト ショウライ システム エ ノ オウヨウ

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