分子動力学法とDLVO理論によるシリカ砥粒とPVAブラシ間の相互作用評価

• 増谷 浩一

書誌事項

タイトル別名

• ブンシ ドウリキガクホウ ト DLVO リロン ニ ヨル シリカトリュウ ト PVA ブラシ カン ノ ソウゴ サヨウ ヒョウカ
• Evaluation of interaction between a silica abrasive and PVA brush by molecular dynamics method and DLVO theory
• 特集 分子動力学を用いた加工シミュレーション
• トクシュウ ブンシ ドウリキガク オ モチイタ カコウ シミュレーション

収録刊行物

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 65 (9), 475-478, 2021-09

  東京 : 砥粒加工学会

キーワード

• CMP
• cleaning
• silica
• PVA
• MD
• DLVO theory

詳細情報

• CRID: 1520290885127540992
• NII論文ID: 40022689033
• NII書誌ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL書誌ID: 031695534
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I031695534
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles