スパッタエッチングにより形成した微細突起物のSEM画像を用いた突起物3Dモデルの生成

• 高 三徳

• 中佐 啓治郎

• 川島 希世子

書誌事項

タイトル別名

• スパッタエッチング ニ ヨリ ケイセイ シタ ビサイ トッキブツ ノ SEM ガゾウ オ モチイタ トッキブツ 3Dモデル ノ セイセイ

収録刊行物

• 大会学術講演論文集

  大会学術講演論文集 117-120, 2021

  [東京] : 日本図学会

キーワード

• 形状処理
• スパッタエッチング
• 微細突起物
• SEM画像
• 座標認識
• 3Dモデル

詳細情報

• CRID: 1520009410638907392
• NII論文ID: 40022790179
• ISSN: 21890072
• NDL書誌ID: 031904999
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/031904999
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I031904999
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles