Studies on plasma processes for X-ray lithography X線リソグラフィにおけるプラズマプロセスに関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Studies on plasma processes for X-ray lithography
- タイトル別名
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X線リソグラフィにおけるプラズマプロセスに関する研究
- 著者名
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堀, 勝
- 著者別名
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ホリ, マサル
- 学位授与大学
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名古屋大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第1844号
- 学位授与年月日
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1986-03-25
注記・抄録
博士論文