Studies on an apparatus for the vacuum ultraviolet radiation processes and a detector for the vacuum ultraviolet radiation 真空紫外線プロセス用装置および真空紫外線検出器に関する研究

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著者

    • 邵, 春林 ショウ, シュンリン

書誌事項

タイトル

Studies on an apparatus for the vacuum ultraviolet radiation processes and a detector for the vacuum ultraviolet radiation

タイトル別名

真空紫外線プロセス用装置および真空紫外線検出器に関する研究

著者名

邵, 春林

著者別名

ショウ, シュンリン

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第1846号

学位授与年月日

1986-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000000978
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000000978
  • NDL書誌ID
    • 000000165290
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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