イオン照射下におけるシリサイド形成の機構の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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イオン照射下におけるシリサイド形成の機構の研究
- 著者名
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堀野, 裕治
- 著者別名
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ホリノ, ユウジ
- 学位授与大学
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名古屋大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第1860号
- 学位授与年月日
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1986-03-25
注記・抄録
博士論文
イオン照射下におけるシリサイド形成の機構の研究
堀野, 裕治
ホリノ, ユウジ
名古屋大学
工学博士
甲第1860号
1986-03-25
博士論文