多結晶シリコンの形成とその応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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多結晶シリコンの形成とその応用に関する研究
- 著者名
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室田, 淳一
- 著者別名
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ムロタ, ジュンイチ
- 学位授与大学
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北海道大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第2785号
- 学位授与年月日
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1985-03-25
注記・抄録
博士論文
多結晶シリコンの形成とその応用に関する研究
室田, 淳一
ムロタ, ジュンイチ
北海道大学
工学博士
乙第2785号
1985-03-25
博士論文