Fundamental research for the mass production and the quality improvements of silicon single crystals シリコン単結晶の大量成長技術と品質特性改善の基礎的研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Fundamental research for the mass production and the quality improvements of silicon single crystals
- タイトル別名
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シリコン単結晶の大量成長技術と品質特性改善の基礎的研究
- 著者名
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阿部, 孝夫
- 著者別名
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アベ, タカオ
- 学位授与大学
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北海道大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第2786号
- 学位授与年月日
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1985-03-25
注記・抄録
博士論文