高周波イオンプレーティング法による薄膜形成に関する研究 コウシュウハ イオンプレーティング ホウ ニ ヨル ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
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著者
書誌事項
- タイトル
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高周波イオンプレーティング法による薄膜形成に関する研究
- タイトル別名
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コウシュウハ イオンプレーティング ホウ ニ ヨル ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者名
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柏木, 邦宏
- 著者別名
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カシワギ, クニヒロ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第3775号
- 学位授与年月日
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1986-01-31
注記・抄録
博士論文