電子線描画装置用可変成形ビームの研究

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Author

    • 中筋, 護 ナカスジ, マモル

Bibliographic Information

Title

電子線描画装置用可変成形ビームの研究

Author

中筋, 護

Author(Another name)

ナカスジ, マモル

University

大阪大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第3822号

Degree year

1986-03-07

Note and Description

博士論文

1access

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000003712
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000003712
  • Text Lang
    • und
  • NDLBibID
    • 000000168026
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE

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