化合物半導体のプラズマ・アシステド・エピタキシー

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著者

    • 松下, 浩一 マツシタ, コウイチ

書誌事項

タイトル

化合物半導体のプラズマ・アシステド・エピタキシー

著者名

松下, 浩一

著者別名

マツシタ, コウイチ

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4285号

学位授与年月日

1986-07-09

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000005579
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000005579
  • NDL書誌ID
    • 000000169893
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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