高融点金属シリサイドのLSIへの応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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高融点金属シリサイドのLSIへの応用に関する研究
- 著者名
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井上, 信市
- 著者別名
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イノウエ, シンイチ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第3940号
- 学位授与年月日
-
1986-07-03
注記・抄録
博士論文
高融点金属シリサイドのLSIへの応用に関する研究
井上, 信市
イノウエ, シンイチ
大阪大学
工学博士
乙第3940号
1986-07-03
博士論文