有機ケイ素-金属酸化物系複合膜とその湿度センサへの応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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有機ケイ素-金属酸化物系複合膜とその湿度センサへの応用に関する研究
- 著者名
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内川, 英興
- 著者別名
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ウチカワ, フサオキ
- 学位授与大学
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九州大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第3768号
- 学位授与年月日
-
1986-07-29
注記・抄録
博士論文
有機ケイ素-金属酸化物系複合膜とその湿度センサへの応用に関する研究
内川, 英興
ウチカワ, フサオキ
九州大学
工学博士
乙第3768号
1986-07-29
博士論文