塩素含有芳香族ポリマーを用いる微細加工用ネガ形レジスト材料に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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塩素含有芳香族ポリマーを用いる微細加工用ネガ形レジスト材料に関する研究
- 著者名
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今村, 三郎
- 著者別名
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イマムラ, サブロウ
- 学位授与大学
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九州大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第3796号
- 学位授与年月日
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1986-09-24
注記・抄録
博士論文
塩素含有芳香族ポリマーを用いる微細加工用ネガ形レジスト材料に関する研究
今村, 三郎
イマムラ, サブロウ
九州大学
工学博士
乙第3796号
1986-09-24
博士論文