集積回路装置における絶縁薄膜の特性とその応用に関する研究

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Author

    • 浜野, 邦幸 ハマノ, クニユキ

Bibliographic Information

Title

集積回路装置における絶縁薄膜の特性とその応用に関する研究

Author

浜野, 邦幸

Author(Another name)

ハマノ, クニユキ

University

北海道大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第3132号

Degree year

1986-12-25

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (3コマ目)
2access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000008006
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000008006
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000172320
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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