ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究 ノボラック ケイ レジスト ノ ナンXセン リソグラフィ ニ カンスル ケンキュウ
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Bibliographic Information
- Title
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ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究
- Other Title
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ノボラック ケイ レジスト ノ ナンXセン リソグラフィ ニ カンスル ケンキュウ
- Author
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持地, 広造
- Author(Another name)
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モチジ, コウゾウ
- University
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大阪大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第4034号
- Degree year
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1986-12-17
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (3コマ目)