ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究 ノボラック ケイ レジスト ノ ナンXセン リソグラフィ ニ カンスル ケンキュウ

Search this Article

Author

    • 持地, 広造 モチジ, コウゾウ

Bibliographic Information

Title

ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究

Other Title

ノボラック ケイ レジスト ノ ナンXセン リソグラフィ ニ カンスル ケンキュウ

Author

持地, 広造

Author(Another name)

モチジ, コウゾウ

University

大阪大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第4034号

Degree year

1986-12-17

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (3コマ目)
1access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000009623
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000009627
  • DOI(NDL)
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000000173937
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections
Page Top