半導体集積回路製造におけるイオンビームの応用に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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半導体集積回路製造におけるイオンビームの応用に関する研究
- 著者名
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柴田, 浩
- 著者別名
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シバタ, ヒロシ
- 学位授与大学
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大阪府立大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第443号
- 学位授与年月日
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1984-12-20
注記・抄録
博士論文
半導体集積回路製造におけるイオンビームの応用に関する研究
柴田, 浩
シバタ, ヒロシ
大阪府立大学
工学博士
乙第443号
1984-12-20
博士論文