ZnO,AlN等のスパッタ膜作製における中性粒子束とその膜に及ぼす影響

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Author

    • 富永, 喜久雄 トミナガ, キクオ

Bibliographic Information

Title

ZnO,AlN等のスパッタ膜作製における中性粒子束とその膜に及ぼす影響

Author

富永, 喜久雄

Author(Another name)

トミナガ, キクオ

University

京都大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第5490号

Degree year

1985-01-23

Note and Description

博士論文

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000010408
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000010413
  • NDLBibID
    • 000000174722
  • Source
    • NDL ONLINE

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