Study on sputtering processes in solid surface under ion bombardment 固体表面におけるイオン衝撃スパッタリング過程に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Study on sputtering processes in solid surface under ion bombardment
- タイトル別名
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固体表面におけるイオン衝撃スパッタリング過程に関する研究
- 著者名
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姜, 煕載
- 著者別名
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カン, ヒチェ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第3150号
- 学位授与年月日
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1984-11-05
注記・抄録
博士論文