Study on sputtering processes in solid surface under ion bombardment 固体表面におけるイオン衝撃スパッタリング過程に関する研究

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Author
    • 姜, 煕載 カン, ヒチェ
Bibliographic Information
Title

Study on sputtering processes in solid surface under ion bombardment

Other Title

固体表面におけるイオン衝撃スパッタリング過程に関する研究

Author

姜, 煕載

Author(Another name)

カン, ヒチェ

University

大阪大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第3150号

Degree year

1984-11-05

Note and Description

博士論文

1access

Codes
  • NII Article ID (NAID)
    500000010453
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000010458
  • Text Lang
    • und
  • NDLBibID
    • 000000174767
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
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