Study on sputtering processes in solid surface under ion bombardment 固体表面におけるイオン衝撃スパッタリング過程に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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Study on sputtering processes in solid surface under ion bombardment
- Other Title
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固体表面におけるイオン衝撃スパッタリング過程に関する研究
- Author
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姜, 煕載
- Author(Another name)
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カン, ヒチェ
- University
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大阪大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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甲第3150号
- Degree year
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1984-11-05
Note and Description
博士論文