サファイア上及び酸素イオン注入により形成した絶縁層上のシリコン薄膜の評価に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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サファイア上及び酸素イオン注入により形成した絶縁層上のシリコン薄膜の評価に関する研究
- Author
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林, 孝好
- Author(Another name)
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ハヤシ, タカヨシ
- University
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名古屋大学
- Types of degree
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工学博士
- Grant ID
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乙第2882号
- Degree year
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1985-08-01
Note and Description
博士論文