光および電子線リソグラフィにおける解像特性の研究

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著者

    • 中瀬, 眞 ナカセ, マコト

書誌事項

タイトル

光および電子線リソグラフィにおける解像特性の研究

著者名

中瀬, 眞

著者別名

ナカセ, マコト

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第4450号

学位授与年月日

1987-02-12

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000012451
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000012458
  • NDL書誌ID
    • 000000176765
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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