p形シリコン拡散層におけるピエゾ抵抗効果の定量化と集積化圧力センサに関する研究

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Author

    • 山田, 一二 ヤマダ, カズジ

Bibliographic Information

Title

p形シリコン拡散層におけるピエゾ抵抗効果の定量化と集積化圧力センサに関する研究

Author

山田, 一二

Author(Another name)

ヤマダ, カズジ

University

東北大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第4451号

Degree year

1987-02-12

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000012452
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000012459
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000176766
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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