グロー放電法による水素化アモルファスシリコン薄膜の生成におけるバイアス効果に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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グロー放電法による水素化アモルファスシリコン薄膜の生成におけるバイアス効果に関する研究
- 著者名
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辺, 隆吉
- 著者別名
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ビョン, リュンギル
- 学位授与大学
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大阪市立大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第1147号
- 学位授与年月日
-
1987-03-24
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (4コマ目)
グロー放電法による水素化アモルファスシリコン薄膜の生成におけるバイアス効果に関する研究
辺, 隆吉
ビョン, リュンギル
大阪市立大学
工学博士
乙第1147号
1987-03-24
博士論文
